SPECTROSCOPIC ANALYZER AND SPECTROSCOPIC ANALYSIS METHOD

To provide a spectroscopic analyzer capable of obtaining an absorbance spectrum inside and outside of a thin film plane by fixing the incident angle of light irradiated from the light source to the support.SOLUTION: A spectroscopic analyzer consists of a light source 1, a support 2, a linearly polarized light filter 3, a detection unit 4, a regression calculation unit 5, and an absorbance spectrum calculating unit 6. The support 2 is fixed with a predetermined incident angle θ. A linearly polarized light filter 3 is configured so that the light of the polarization angle φin the range of 0° to 90° is irradiated to the support 2. The detection unit 4 detects a transmission spectrum S from the transmitted light of the polarization angle φ. The regression calculation unit 5 obtains a transmission spectrum S and an in-plane and out-plane spectra s, sby regression analysis, using a mixing ratio R. An absorbance spectrum calculating unit 6 calculates the in-plane and out-plane spectra A, A, based on the in-thin-plane and out-of-thin-plane spectra obtained in the states where the thin film is supported and is not supported on the support 2.SELECTED DRAWING: Figure 1 【課題】光源から支持体に照射される光の入射角を固定しても薄膜面内・面外吸光度スペクトルを得ることが可能な分光解析装置を提供する。【解決手段】分光解析装置は、光源１と支持体２と直線偏光フィルタ３と検出部４と回帰演算部５と吸光度スペクトル算出部６とからなる。支持体２は、所定の入射角θとなるように固定される。直線偏光フィルタ３は、０°から９０°の範囲の偏光角φｎの光が支持体２に照射されるように構成される。検出部４は、偏光角φｎの透過光から透過スペクトルＳを検出する。回帰演算部５は、透過スペクトルＳと、混合比率Ｒとを用いて、回帰分析により面内・面外スペクトルｓｉｐ，ｓｏｐを得る。吸光度スペクトル算出部６は、支持体２に薄膜が支持される状態と支持されない状態で得られる面内・面外スペクトルを基に、薄膜面内・薄膜面外吸光度スペクトルＡｉｐ，Ａｏｐを算出する。【選択図】図１