SURFACE INSPECTION DEVICE

To provide a surface inspection device with which it is possible to display a flaw on a mirror surface more clearly on an image against a light source pattern than before, irrespective of the angle of the flaw.SOLUTION: A surface inspection device 10 comprises: a surface light source 16A that moves relatively to a mirror surface 24 of a workpiece 22; a slit cover 16B for covering the surface light source 16A, in which slits 26A, 26B are formed; an imager 14 for imaging a slit pattern reflected on the mirror surface 24; a differential unit 32 for finding an edge extracted image in which differential filtering is applied to the captured slit pattern image; and an addition unit 34 for finding an added image in which a plurality of edge extracted images due to relative movement are added. In the slit cover 16B are formed slits 26A, 26B non-parallel to the direction of relative movement of the workpiece 22 and the surface light source 16A and orthogonal to each other.SELECTED DRAWING: Figure 1 【課題】光源パターンに対する、鏡面上の傷の角度によらず、当該傷を従来よりも明瞭に画像上に表示可能な、表面検査装置を提供する。【解決手段】表面検査装置１０は、ワーク２２の鏡面２４と相対移動する面光源１６Ａと、スリット２６Ａ，２６Ｂが形成され、面光源１６Ａを覆うスリットカバー１６Ｂと、鏡面２４に写り込むスリットパターンを撮像する撮像器１４と、撮像されたスリットパターン画像に微分フィルタ処理を施したエッジ抽出画像を求める微分部３２と、相対移動に伴う複数のエッジ抽出画像を加算した加算画像を求める加算部３４と、を備える。スリットカバー１６Ｂには、ワーク２２と面光源１６Ａとの相対移動方向とは非平行であり、かつ、互いに直交するスリット２６Ａ，２６Ｂが形成されている。【選択図】図１