ELECTROMAGNETICALLY ACTUATED MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SWITCH

To provide a switch for a micro-electro-mechanical system (MEMS).SOLUTION: A micro-electro-mechanical switch uses electrostatic attraction force to draw a beam toward a contact and uses electromagnetic repulsion force to disengage and repel the beam from the contact. The electrostatic attraction force is generated by a gate electrode. The electromagnetic repulsion force is generated between the beam and a magnetic coil positioned on the same side of the contact of the beam. The magnetic coil produces a magnetic field which induces a current in the beam that repels the magnetic coil. The gate electrode and the magnetic coil may be co-planar or in different planes. A circuit may also operate a coil-shaped structure acting as the gate electrode and the magnetic coil, depending on the configuration.SELECTED DRAWING: Figure 2 【課題】微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）用のスイッチを提供する。【解決手段】微小電気機械スイッチは、静電誘引力を使用して接点に向かって梁を引っぱり、電磁反発力を使用して接点から梁を係脱しはね返す。静電誘引力は、ゲート電極によって発生される。電磁反発力は、梁と、梁の接点と同じ側に位置する磁気コイルとの間で発生される。磁気コイルは、磁気コイルをはね返す梁に電流を誘起する磁界を生成する。ゲート電極および磁気コイルは、同一平面上にあってもよいし、異なる平面内にあってもよい。回路もまた、構成に依存して、ゲート電極および磁気コイルとして作用するコイル形状構造体を動作させてもよい。【選択図】図２