SYSTEMS FOR PROVIDING ILLUMINATION IN OPTICAL METROLOGY

To provide systems for providing illumination to a measurement head for optical metrology.SOLUTION: In some embodiments of the disclosure, illumination beams from a plurality of illumination sources 102A-102F are combined to deliver illumination at one or more selected wavelengths to the measurement...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: OLEG SHULEPOV, OLEG TSIBULEVSKY, ANATOLY A VASILIEV, JAMES ANDREW ALLEN, DANIEL KANDEL, ANATOLY SHELININ, ALEXANDER SVIZHER, MUZAMMIL A ARAIN, AMNON MANASSEN, GREGORY BRADY, ANDREI V SHCHEGROV, MOSHE MARKOWITZ, ILAN SELA, DERRICK SHAUGHNESSY, MARK GHINOVKER, MAXIM KHOKHLOV, ANDREW HILL, YARON ISH-SHALOM, LAWRENCE D ROTTER, AVI ABRAMOV, ILYA BEZEL, OHAD BACHAR
Format: Patent
Sprache:eng ; jpn
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Beschreibung
Zusammenfassung:To provide systems for providing illumination to a measurement head for optical metrology.SOLUTION: In some embodiments of the disclosure, illumination beams from a plurality of illumination sources 102A-102F are combined to deliver illumination at one or more selected wavelengths to the measurement head. Illumination emanating from the illumination sources 102A-102F is combined to propagate along a common illumination path utilizing a plurality of dichroic combiners 110A-110E. In some embodiments of the disclosure, intensity and/or spatial coherence of illumination delivered to the measurement head is controlled. In some embodiments of the disclosure, illumination at one or more selected wavelengths is delivered from a broadband illumination source configured for providing illumination at a continuous range of wavelengths.SELECTED DRAWING: Figure 1 【課題】光計測のための測定ヘッドに照明を提供するためのシステムを提供する。【解決手段】本開示のいくつかの実施形態では、複数の照明光源102A〜102Fからの照明ビームは、測定ヘッドに1つまたは複数の選択された波長の照明を提供するために結合される。照明光源102A〜102Fからの照明は、複数の二色性結合器110A〜110Eを活用して結合され、共通の照明経路に沿って伝わる。本開示のいくつかの実施形態では、測定ヘッドに提供される照明の強度および/または空間的コヒーレンスが制御される。本開示のいくつかの実施形態では、1つまたは複数の選択された波長の照明は、連続した波長の範囲の照明を提供するために構成された広帯域照明光源から提供される。【選択図】図1