SHEET STICKING METHOD

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a sheet sticking method that is able to hinder non-uniform interval between devices and to provide a sheet sticking method that is able to hinder a decrease in device productivity.SOLUTION: A processing method, which is a sheet sticking method, is a method for sticking a sheet to a plate-like object. The processing method comprises: a sheet sticking step ST1 in which a sheet is stuck to the plate-like object, the sheet with the plate-like object stuck thereto is attached to an annular frame with an opening, and thereby a plate-like unit is formed from the annular frame, the plate-like object accommodated in the opening of the annular frame and the sheet stuck to the plate-like object; and a tension relaxing step ST2 in which, after the sheet sticking step ST1, tension applied to the sheet in the sheet sticking step ST1 is relaxed.SELECTED DRAWING: Figure 2 【課題】デバイス間の間隔の不均一を抑制できるシート貼着方法を提供すること、又はデバイスの生産性の低下を抑制することができるシート貼着方法を提供すること。【解決手段】シート貼着方法である加工方法は、板状物にシートを貼着する方法である。加工方法は、板状物にシートを貼着するとともに開口を有した環状フレームに板状物が貼着されたシートを装着して、環状フレームと、環状フレームの開口内に収容された板状物と、板状物に貼着されたシートと、からなる板状物ユニットを形成するシート貼着ステップＳＴ１と、シート貼着ステップＳＴ１を実施した後、シート貼着ステップＳＴ１でシートに生成されたテンションを緩和するテンション緩和ステップＳＴ２とを備える。【選択図】図２