INNOVATIVE IMAGE PROCESSING IN CHARGED PARTICLE MICROSCOPY

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an innovative image processing method in charged particle microscopy.SOLUTION: The method comprises the steps of: acquiring a successive series of component images {I,...,I} of a given part of a specimen; and combining the component images. Prior to the combining step, the method comprises the steps of: successively quantizing each component image; storing it in a memory; recording a quantization error per pixel for each quantized component image; keeping a running tally Tof cumulative quantization errors per pixel for quantized component images {I,...,I}; and when quantizing a next component image I, for a given pixel, choosing a quantization polarity that will tend to avoid further increasing Trelative to T, such that: if Tn is positive, then Twill be less positive; if Tis negative, then Twill be less negative; and if Tn is zero, then Tis allowed to be positive, negative, or zero.SELECTED DRAWING: Figure 2 【課題】荷電粒子顕微鏡法の革新的な画像処理方法を提供する。【解決手段】試料の所与の部分の連続する一連の成分画像｛Ｉ１，...，Ｉｎ｝を取得し、前記成分画像を合成し、前記合成するステップの前に、各成分画像を連続して量子化するステップと、それをメモリに保存するステップと、各量子化された成分画像について画素ごとの量子化エラーを記録するステップと、量子化された成分画像｛Ｉ１，...，Ｉｎ｝について画素ごとの累積量子化エラーの途中集計Ｔｎを保持するステップと、次の成分画像Ｉｎ＋１を量子化するときに、所与の画素について、Ｔｎに関してＴｎ＋１がさらに増加することを回避する傾向のある量子化極性を選択するステップであって、Ｔｎが正である場合、Ｔｎ＋１は正になりにくく、Ｔｎが負である場合、Ｔｎ＋１は負になりにくく、Ｔｎがゼロである場合、Ｔｎ＋１は正、負、又はゼロになることができる、ステップと、を含む。【選択図】図２