BLIND AIR PERMEABILITY ELECTRODE

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an electrode capable of significantly reducing the occurrence of an electric insulation breakdown (glitch) in a gap between electrodes of an ion source extraction electrode.SOLUTION: By improving a pumping between electrodes of an extraction electrode (suppression electrode, ground electrode) and reducing a gas pressure, a glitch generation rate is reduced. Thus, a one surface blind air permeability insert 200 having a plurality of blind air vents 220 is attached to an electrode plate. In the air vents, a direct line-of-sight line from at least one side of the electrode plate to the other side is not existed, that is, an ion, a X-ray, and a secondary electron or the like are not passed through. Thus, the generation rate of the glitch can be reduced. Although a secondary particle occurs in an extract positive ion by hitting to a well 222, the line-of-sight line to an analysis side is not existed. A secondary electron 230 occurred in an air vent channel 224 by the ion or the X-ray entered from an analysis side includes the direct line-of-sight line to an opening 228.SELECTED DRAWING: Figure 5 【課題】イオン源引き出し電極の電極間ギャップにおいて電気絶縁破壊（グリッチ）が発生するのを大幅に減少させることができる電極を提供する。【解決手段】引き出し電極（抑制電極、接地電極）の電極間のポンピングを改善してガス圧を減少させることによりグリッチ発生率を減少させる。そのために電極プレートに複数のブラインド通気孔２２０を有する片面ブラインド通気性インサート２００を取り付ける。そして、通気孔は電極プレートの少なくとも一方の側から他方の側への直接見通し線が存在しない、つまり、イオン、Ｘ線、二次電子等が通過できないようにすることにより、グリッチの発生率を減少させる。抽出された正イオンはウェル２２２に衝突して二次粒子が発生するが、分析サイド側への見通し線は存在しない。分析サイドから入射するイオン又はＸ線によって通気チャネル２２４に生じた二次電子２３０に対しては開口２２８への直接見通し線を持つ。【選択図】図５