VACUUM PUMP

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an improved vacuum device.SOLUTION: This invention relates to a vacuum device, in particular, a vacuum pump, a turbo-molecular pump (111) or a vacuum device. It has a housing (301), this housing encloses at least one inner space (303), vacuum can be generated within the inner space, then the housing separates the inner space from an external space (305), in particular surrounding environment and then the vacuum device has at least one conductor plate (307) and this conductor plate is arranged within the housing (301) or at the housing (301). At least one vacuum member (311, 313) through which fluid can pass is arranged at the conductor plate (307) or on the conductor plate (307), and then, fluid connecting part (315) connected to the inner space (303) and/or an external space (305) is guided through vacuum members (311, 313).SELECTED DRAWING: Figure 1 【課題】本発明は、改善された真空装置を提供することを課題とする。【解決手段】真空装置、特に真空ポンプ、ターボ分子ポンプ（１１１）、又は真空装置であって、ハウジング（３０１）を有し、このハウジングが、少なくとも一つの内部空間（３０３）を取り囲んでおり、内部空間内に真空が発生可能であり、そしてハウジングが、内部空間を外部空間（３０５）、特に周囲環境から分離し、そして真空装置は、少なくとも一つの導体板（３０７）を有し、この導体板が、ハウジング（３０１）内、又はハウジング（３０１）に設けられている真空装置において、導体板（３０７）に、又は導体板（３０７）上に、流体により貫流可能な少なくとも一つの真空部材（３１１，３１３）が設けられており、そして、内部空間（３０３）と、及び／又は外部空間（３０５）と接続状態にある流体接続部（３１５）が、真空部材（３１１，３１３）を通って案内されていることを特徴とする真空装置。【選択図】図１