PROBE CARD AND TEST APPARATUS INCLUDING THE SAME

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a probe card that allows an abrasion degree of a probe pin to be examined via an electrical test.SOLUTION: A probe card for testing an electrical characteristic of a device under test (DUT) including a plurality of semiconductor devices includes a substrate, a first probe pin disposed on a surface of the substrate and including a tip portion capable of contacting a pad of the device under test, and a second probe pin disposed on the surface of the substrate and including a tip portion capable of contacting the pad of the device under test. The first probe pin protrudes further than the second probe pin in a first direction, which is perpendicular to the surface of the substrate.SELECTED DRAWING: Figure 1 【課題】プローブピンの摩耗の程度を、電気的テストを介して検査することができるプローブカードを提供する。【解決手段】複数の半導体素子を含む被試験素子（ＤＵＴ）の電気的特性をテストするためのプローブカードは、基板、基板の一面上に設けられ、被試験素子のパッドに接触可能なチップ部を有する第１プローブピン、及び基板の一面上に設けられ、被試験素子のパッドに接触可能なチップ部を有する第２プローブピンを含み、第１プローブピンは、第２プローブピンより、基板の一面に対する垂直方向である第１方向にさらに突出している。【選択図】図１