CHUCK TABLE OF PROCESSING DEVICE

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a chuck table of a processing device which can suppress peeling charge occurring when a workpiece is peeled off from the chuck table.SOLUTION: A processing apparatus, i.e., a cleaning device, includes a chuck table 1 for holding a workpiece, with adhesive tape stuck on back side, on a holding surface 1a, and a cleaning unit for cleaning the workpiece W held on the chuck table 1. In the holding surface 1a of the chuck table 1, a resin layer of an adhesive tape T and a frictional electrification series are composed of an equivalent material, and thereby peeling charge of the workpiece W is suppressed.SELECTED DRAWING: Figure 3 【課題】チャックテーブルから被加工物を剥離する際に発生する剥離帯電を抑制することができる加工装置のチャックテーブルを提供すること。【解決手段】加工装置である洗浄装置は、裏面に粘着テープが貼着された被加工物を保持面１ａで保持するチャックテーブル１と、チャックテーブル１で保持した被加工物Ｗを洗浄する洗浄ユニットと、を備える。チャックテーブル１の保持面１ａは、粘着テープＴの樹脂層と摩擦帯電系列が同等の材質で構成され、被加工物Ｗの剥離帯電が抑えられる。【選択図】図３