DIFFERENTIAL PRESSURE DETECTION ELEMENT AND FLOW RATE MEASUREMENT DEVICE

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a differential pressure detection element which can suppress temporal change of an offset voltage.SOLUTION: A differential pressure detection element 10 includes: a supporting part 11; a cantilever part 12 supported by the supporting part 11, the cantilever part elastically deforming according to a differential pressure; a diffusion layer 13 in a fixed end 121 of the cantilever part 12, the diffusion layer having piezoresistance parts 131 and 132; a first insulating layer 14 covering at least the diffusion layer 13; and a second insulating layer 15 stacked on the first insulating layer 14, the second insulating layer 15 covering end surfaces 143 and 144 of the first insulating layer 14 in a region near at least the diffusion layer 13.SELECTED DRAWING: Figure 3 【課題】オフセット電圧の経時的な変動を抑制することが可能な差圧検出素子を提供する。【解決手段】差圧検出素子１０は、支持部１１と、支持部１１に支持されていると共に、差圧に応じて弾性変形するカンチレバー部１２と、カンチレバー部１２の固定端１２１に設けられたピエゾ抵抗部１３１，１３２を含む拡散層１３と、少なくとも拡散層１３を覆う第１の絶縁層１４と、第１の絶縁層１４に積層された第２の絶縁層１５と、を備えており、第２の絶縁層１５は、少なくとも拡散層１３の近傍において、第１の絶縁層１４の端面１４３，１４４も覆っている。【選択図】図３