SLIDE MEMBER AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a slide member capable of securing a lower friction coefficient than before in an environment in lubricating oil, and a method of manufacturing the same.SOLUTION: An amorphous carbon coating 12 of a slide member 10 has a value A/B of 10-18, obtained through X-ray photoelectron spectroscopy on the amorphous carbon coating 12, where A represents the number of nitrogen atoms having three carbon atoms coordinated by single bonding and B represents the number of nitrogen atoms having two carbon atoms coordinated by single bonding or double bonding. A method of manufacturing the slide member 10 comprises: irradiating a surface of a base material 11 with a nitrogen beam; and also irradiating a carbon target T with an electron beam E so as to form the amorphous carbon coating 12 while depositing part of the carbon target T on the surface of the base material 11. The output of the electron beam E irradiating the carbon target T is 30-50 W.SELECTED DRAWING: Figure 11 【課題】潤滑油中の環境下において、これまでに比べてより低い摩擦係数を確保することができる摺動部材およびその製造方法を提供する。【解決手段】摺動部材１０の非晶質炭素被膜１２は、単結合により３つの炭素原子が配位された窒素原子の個数をＡとし、単結合および二重結合により２つの炭素原子が配位された窒素原子の個数をＢとしたときに、非晶質炭素被膜１２に対してＸ線光電子分光分析により得られる非晶質炭素被膜１２のＡ／Ｂの値が、１０以上、１８以下となる関係を満たす。摺動部材１０の製造方法では、基材１１の表面に向けて窒素イオンビームを照射すると共に、カーボンターゲットＴに電子ビームＥを照射することにより、カーボンターゲットＴの一部を基材１１の表面に蒸着させながら非晶質炭素被膜１２を成膜する。カーボンターゲットＴに照射する電子ビームＥの出力は、３０Ｗ以上、５０Ｗ以下である。【選択図】図１１