ULTRAPURE WATER MANUFACTURING DEVICE

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an ultrapure water manufacturing device that can reduce the heat source cost of a heat exchanger, the heat exchanger being for heating ultrapure water to be sent to a use point to produce warm ultrapure water, and can reduce costs for cooling primary pure water.SOLUTION: Secondary pure water from a subsystem 4 is heated by a heat exchanger 6, a heat exchanger 10, and a heat exchanger 12, and is sent to a use point. A heat source of the heat exchanger 6 is returning warm ultrapure water from the use point. This returning ultrapure water is introduced into a subtank 2 after having the temperature thereof reduced by the heat exchanger 6 and a heat exchanger 43. First medium water that has been heated by a heat pump 20 is circulated and passed through the heat exchanger 10. Second medium water is circulated to a vaporizer 21 of the heat pump 20. A heat exchanger 26 through which warm discharge water from the use point 40 is passed is positioned on the circulation flow path of the second medium water, and the heat exchanger 43 is disposed upstream from the heat exchanger 26.SELECTED DRAWING: Figure 1 【課題】ユースポイントに送水される超純水を加温して温超純水とするための熱交換器の熱源コストを低減することができると共に、一次純水を冷却するためのコストを低減することができる超純水製造装置を提供する。【解決手段】サブシステム４からの二次純水を熱交換器６、熱交換器１０及び熱交換器１２で加熱してユースポイントへ送る。熱交換器６の熱源はユースポイントからの戻り温超純水である。この戻り超純水は、熱交換器６及び熱交換器４３で降温した後、サブタンク２に導入される。熱交換器１０には、ヒートポンプ２０で加熱された第１媒体水が循環通水される。ヒートポンプ２０の蒸発器２１には第２媒体水が循環される。第２媒体水の循環流路には、ユースポイント４０からの温排水が通水される熱交換器２６が設置され、熱交換器２６よりも上流側に熱交換器４３が設けられている。【選択図】図１