SUBSTRATE CARRYING DEVICE, FILM DEPOSITION APPARATUS, AND SUBSTRATE CONVEYANCE METHOD

PROBLEM TO BE SOLVED: To stabilize substrate conveyance accuracy between a band and a substrate support.SOLUTION: A substrate carrying device according to an embodiment of the present invention, comprises: a robot main body; a distance sensor; and a control device. The robot main body includes: a hand having at least one holding surface capable of holding a work; and a multi-joint arm connected to the hand. The distance sensor is the distance sensor provided to the robot main body, and optically measures at least three points three-dimensional coordinates of a detection point in which a mounting surface is previously set as a reference to a substrate support having a circular or rectangle mounting surface for mounting the work. The control device calculates a center coordinate of the mounting surface from the three-dimensional coordinate acquired by the distance sensor, and controls an angle formed by the mounting surface and the holding surface.SELECTED DRAWING: Figure 1 【課題】ハンドと基板支持具との間における基板搬送精度をより安定させる。【解決手段】本発明の一形態に係る基板搬送装置は、ボット本体と、距離センサと、制御装置と、を具備する。前記ロボット本体は、ワークを保持することが可能な少なくとも１つの保持面を有するハンドと、前記ハンドに連結された多関節アームと、を含む。前記距離センサは、前記ロボット本体に設置された距離センサであって、前記ワークを載置する円形状または矩形状の載置面を有する基板支持具に対し、前記載置面を基準に予め設定された検出ポイントの少なくとも３点の３次元座標を光学的に測定する。前記制御装置は、前記距離センサによって取得された前記３次元座標のそれぞれから前記載置面の中心座標を算出し、前記載置面と前記保持面とがなす角度を制御する。【選択図】図１