TRANSPORT DEVICE AND TRANSPORT METHOD, AND INSPECTION SYSTEM

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a transport device and a transport method capable of delivering a transported object in an exact position, even if a belt drive system using a timing belt is employed, and to provide an inspection system using such a transport device.SOLUTION: A transport device includes a loader 31, a transport path 50 having multiple delivery positions for moving the loader 31 in the X direction, and delivering a wafer W, a drive mechanism 32 of belt drive system for moving the loader 31 along the transport path 50 by means of a timing belt 51 arranged in the X direction, position sensors 71a, 71b issuing signals when the loader 31 reaches a predetermined position corresponding to the delivery position, and a transport control section 81 for controlling the loader 31. The transport control section 81 has coordinates related to the position of the loader 31, and every time when receiving signals from the position sensors 71a, 71b, corrects position data of the loader 31 on the coordinate in the transport control section 81 on the basis of that signals.SELECTED DRAWING: Figure 11 【課題】タイミングベルトを用いるベルト駆動方式を採用しても、被搬送体を正確な位置で受け渡すことができる搬送装置および搬送方法、ならびにこのような搬送装置を用いた検査システムを提供する。【解決手段】ローダー３１と、ローダー３１をＸ方向に沿って移動させ、ウエハＷの受け渡しを行う複数の受け渡し位置を有する搬送路５０と、Ｘ方向に配されたタイミングベルト５１によりローダー３１を搬送路５０に沿って移動させるベルト駆動方式の駆動機構３２と、ローダー３１が受け渡し位置に対応する所定の位置に達した際に信号を発する位置センサー７１ａ，７１ｂと、ローダー３１を制御する搬送制御部８１とを有し、搬送制御部８１は、ローダー３１の位置に関する座標を有し、位置センサー７１ａ，７１ｂからの信号を受け取った際に、その都度その信号に基づいて、搬送制御部８１における座標上のローダー３１の位置データを補正する。【選択図】図１１