INSPECTION METHOD, COMPOSITION, INSPECTION SUBSTRATE, MANUFACTURING METHOD FOR ORGANIC ELECTRO LUMINESCENCE ELEMENT, AND INSPECTION APPARATUS

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an inspection method for inspecting a deposition process of a manufacturing method for an organic EL element by examining a defective caused by a mask, provide an inspection substrate, inspection apparatus, and composition for manufacturing the inspection substrate, and provide the manufacturing method for the organic EL element.SOLUTION: An inspection method uses: a mask used in a deposition process; and an inspection substrate including an organic layer formed using a composition including a polymer having a group containing an acid-dissociable group and an acid generator. The inspection method includes: a radiation irradiation step of performing radiation irradiation on the organic layer of the inspection substrate; a heating step of heating the inspection substrate; an inspection step of observing radiation irradiation part formed in the organic layer to examine a defective caused by the mask; and a determination step of determining whether or not the defective caused by the mask is allowable. An organic EL element is manufactured using a mask determined to be allowable, by the inspection method.SELECTED DRAWING: Figure 1 【課題】マスクによる不良を調べて有機ＥＬ素子の製造方法の蒸着工程を検査する検査方法を提供し、検査基板、検査装置およびその検査基板を製造するための組成物を提供し、有機ＥＬ素子の製造方法を提供する。【解決手段】検査方法は、蒸着工程で使用されるマスクと、酸解離性基を含む基を有する重合体および酸発生剤を含む組成物を用いて形成された有機層を有する検査基板とを用いる。そして、検査基板の有機層に放射線照射を行う放射線照射工程と、検査基板を加熱する加熱工程と、有機層に形成された放射線照射部分を観察してマスクによる不良を調べる検査工程と、マスクによる不良が許容可能か否かを判定する判定工程とを有する。検査方法で許容可能と判定されたマスクを用いて有機ＥＬ素子の製造を行う。【選択図】図１