MICROSCOPIC RAMAN SPECTROMETER AND RAMAN MICROSPECTROSCOPIC SYSTEM

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a microscopic Raman spectrometer and a Raman microspectroscopic system which can perform position detection of a minute sample equal to or smaller than the wavelength of Raman exciting light and Raman measurement.SOLUTION: A microscopic Raman optical system 100 includes: an oblique irradiation optical system 130 irradiating a minute sample 10 with a laser beam for detecting a position of the minute sample 10 on a principal surface of a semiconductor wafer; and a vertical irradiation optical system irradiating the minute sample 10 with a laser beam for exciting Raman scattered light. The laser beam for detecting a position of the minute sample 10 is emitted to the minute sample 10 from an oblique direction with respect to the principal surface of the semiconductor wafer, and the laser beam for exciting the Raman scattered light is emitted to the minute sample 10 from an orthogonal direction with respect to the principal surface of the semiconductor wafer. The position of the minute sample 10 is recognized by a dark field microscopic image.SELECTED DRAWING: Figure 1 【課題】ラマン励起光の波長以下のサイズを有する微小試料の位置検出およびラマン測定ができる顕微ラマン分光装置、ならびに顕微ラマン分光システムを提供する。【解決手段】顕微ラマン光学系１００は、半導体ウェハの主面上の微小試料１０の位置を検出するためのレーザ光を、微小試料１０へ照射する斜射光学系１３０と、ラマン散乱光を励起するためのレーザ光を、微小試料１０へ照射する落射光学系と、を有する。微小試料１０の位置を検出するためのレーザ光は、半導体ウェハの主面に対して斜め方向から微小試料１０へ照射され、ラマン散乱光を励起するためのレーザ光は、半導体ウェハの主面に対して垂直に微小試料１０へ照射され、微小試料１０の位置は、暗視野顕微画像によって認識される。【選択図】図１