HIGH-FREQUENCY POWER SOURCE

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a high-frequency power source that can output high-frequency electric power as a desired waveform that changes at high-speed.SOLUTION: A high-frequency power source 1 includes two DC-RF conversion units 4A, 4B, and an RF combining unit 5 for combining outputs of both DC-RF conversion unit 4A, 4B. The DC-RF conversion units 4A, 4B amplify, respectively, high-frequency voltages v, vinput from a high-frequency signal generating unit 8, and output high-frequency voltages v, v. The RF combining unit 5 outputs a high-frequency voltage vproportionally corresponding to the phase difference θ of the high-frequency voltages v, v. A control unit 9 switches the phase difference θ between θ1 and θ2. Thus, the output electric power Poutput by the RF combining unit 5 is pulsed high-frequency electric power having a high level period and a low level period. The switching of the phase difference θ can be carried out at high speed; therefore, pulsed high-frequency electric power in which the frequency of switching between a first level and a second level is made high can be output.SELECTED DRAWING: Figure 1 【課題】高周波電力を、高速に変化する所望の波形として出力することができる高周波電源を提供する。【解決手段】高周波電源１は２つのＤＣ−ＲＦ変換部４Ａ，４Ｂと両ＤＣ−ＲＦ変換部４Ａ，４Ｂの出力を合成するＲＦ合成部５を備える。ＤＣ−ＲＦ変換部４Ａ，４Ｂは、それぞれ、高周波信号生成部８から入力される高周波電圧ｖa，ｖbを増幅して高周波電圧ｖPA，ｖPBを出力する。ＲＦ合成部５は高周波電圧ｖPA，ｖPBの位相差θに応じた割合で高周波電圧ｖPXを出力する。制御部９は、位相差θをθ１とθ２との間で切り替える。これにより、ＲＦ合成部５から出力される出力電力ＰXは、ハイレベル期間とローレベル期間とを有するパルス状の高周波電力になる。位相差θの切り替えは高速に行うことができるので、第１レベルと第２レベルとの切り替えの周波数を高くしたパルス状の高周波電力を出力することができる。【選択図】図１