SILOXANE POLYMER COMPOSITION AND METHOD FOR USING THE SAME

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a negative tone siloxane polymer composition for aqueous basic developer system.SOLUTION: There are provided a siloxane composition which contains a siloxane prepolymer having a functional group capable of deprotonated in a basic aqueous solution and a functional gro...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: SACHA LEGRAND, ARI KARKKAINEN, MILJA HANNU-KUURE, AMIR HADZIC, GRAEME GORDON
Format: Patent
Sprache:eng ; jpn
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