METHOD OF MANUFACTURING PRESSURE SENSOR

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method of manufacturing a pressure sensor for measuring fluid pressure in a device.SOLUTION: The pressure sensor comprises a port element with a sealing structure and a membrane. Four strain gages G1-G4 are attached to the membrane. The strain gages G1-G4 are configured in a Wheatstone bridge to sense fluid pressure. A first finite element action determines a first contour C1 around the membrane central axis with equal compressive strain and a second contour C2 around the membrane central axis with equal tensile strain, where, when fluid pressure is applied to the membrane, strain on the first contour C1 is opposite strain on the second contour C2. A second finite element action determines the four positions of the strain gages G1-G4 on the first and second contours C1, C2 such that the difference between the highest error signal and the lowest error signal at the output of the Wheatstone bridge is minimal under influence of parasitic forces acting on the pressure sensor.SELECTED DRAWING: Figure 2 【課題】デバイス内の流体圧力を測定するための圧力センサを製造する方法を提供する。【解決手段】圧力センサは、密封構造および膜を有するポート要素を備える。膜には４つのひずみゲージＧ１〜Ｇ４が取り付けられ、流体圧力を検知するのに、ひずみゲージＧ１〜Ｇ４がホイートストンブリッジに構成される。第１の有限要素動作は、一様な圧縮ひずみの膜中心軸の周りの第１の等高線Ｃ１、および一様な引張ひずみの膜中心軸の周りの第２の等高線Ｃ２を決定し、流体圧力が膜に印加される場合、第１の等高線Ｃ１上のひずみは、第２の等高線Ｃ２上の逆のひずみである。第２の有限要素動作は、ホイートストンブリッジの出力における最も高い誤差信号と最も低い誤差信号との間の差が、圧力センサに作用する寄生的な力の影響下で最小であるような、第１および第２の等高線Ｃ１、Ｃ２上のひずみゲージＧ１〜Ｇ４の４つの位置を決定する。【選択図】図２