MICROWAVE ION SOURCE AND ION GENERATION METHOD

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a technique for controlling an extraction form of ions extracted from a plasma chamber.SOLUTION: A microwave ion source 10 comprises: a plasma chamber 12 having a microwave introduction part 26 for introducing microwaves into a plasma chamber 12 in an axial direction...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	KITAMI NAOHISA
Format:	Patent
Sprache:	eng ; jpn
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS ELECTRICITY
Online-Zugang:	Volltext bestellen
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