CONTROLLER FOR CONTROLLING MICROMECHANICAL ACTUATOR, IN PARTICULAR MICROMECHANICAL ACTUATOR OF MICROMIRROR, CONTROL SYSTEM, MICROMIRROR SYSTEM, AND METHOD FOR CONTROLLING MICROMECHANICAL ACTUATOR

PROBLEM TO BE SOLVED: To reduce the excitation of high-order resonances with a minimal technical cost.SOLUTION: A controller for controlling a micromechanical actuator comprises: a setpoint input terminal 100; an actual-value input terminal 116; a setpoint filter 101 to attenuate a first predefined frequency band in a received setpoint signal 4 to supply a filtered setpoint signal 102; a differentiator 113 to supply a time derivative of a received actual-value signal 6; a controller core 105 to supply a manipulated variable signal 106 for micromachine actuator on the basis of a control deviation 104 between the filtered setpoint signal and the actual-value signal; a phase rotation element 109 to modify the phase of the difference between the manipulated variable signal and the derivative of the actual-value signal in a predefined second frequency band to supply a modified manipulated variable signal 110; and a manipulated variable filter 111 to suppress a predefined third frequency in the manipulated variable signal to supply a manipulated variable signal 5 for the micromachine actuator.SELECTED DRAWING: Figure 5 【課題】高次の共振周波数の励振を僅かな技術的コストで低減する。【解決手段】目標値入力端子１００と、実際値入力端子１１６と、受信した目標値信号４において予め定められた第１の周波数帯域を減衰させ、フィルタリングされた目標値信号１０２を供給する目標値フィルタ１０１と、受信した実際値信号６の時間微分を供給する微分器１１３と、フィルタリングされた目標値信号と実際値信号との制御偏差１０４に基づき、マイクロマシンアクチュエータのための操作量信号１０６を供給するコントローラコア１０５と、操作量信号と実際値信号の微分との差の位相を、予め定められた第２の周波数帯域において修正し、修正操作量信号１１０を供給する位相回転素子１０９と、操作量フィルタ１１１とを設け、操作量信号において予め定められた第３の周波数を抑制し、マイクロマシンアクチュエータのためのフィルタリングされた操作量信号５を供給するように構成する。【選択図】図５