YIELD PREDICTION DEVICE AND YIELD PREDICTION METHOD

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a technique that models a cause-effect relationship between manufacturing time data and quality data differing in sampling frequency in a form verifiable with knowledge concerning a physical cause-effect relationship to make it easier to reconstruct.SOLUTION: Provided is a yield prediction device comprising: a representative value calculation unit for calculating a representative value using operating performance record data of a manufacturing device of a product that includes a plurality of variables; a nested network estimation unit for estimating a nested network that is a nested relation between object variables represented by a representative value for each representative value in accordance with the presence of a predetermined cause-effect relation and the hierarchical relation of variables; a prediction simulation unit for simulating prediction of quality data by a prescribed resolution using the nested network; and an output information generation unit for generating output information that shows the cause-effect relation between variables and quality data using the result of prediction simulation.SELECTED DRAWING: Figure 1 【課題】 サンプリング頻度が異なる製造時のデータと品質データの間の因果関係を物理的な因果関係に関する知識と照合可能な形でモデル化し、より再構築しやすい技術を提供する。【解決手段】歩留り予測装置であって、複数の変数を含む製品の製造装置の稼動実績データを用いて代表値を算出する代表値算出部と、予め定められた因果関係の有無と変数の階層関係に応じて代表値ごとに代表値により代表される対象の変数間の入れ子関係である入れ子ネットワークを推定する入れ子ネットワーク推定部と、入れ子ネットワークを用いて所定の分解能で品質データの予測シミュレーションを行う予測シミュレーション部と、予測シミュレーションの結果を用いて変数と品質データとの因果関係を明示する出力情報を生成する出力情報生成部と、を備える。【選択図】図１