MICROLITHOGRAPHY PROJECTION OBJECTIVE LENS

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a microlithography projection objective lens for imaging into an image plane a pattern arranged in an object plane, capable of suppressing stray light.SOLUTION: Provided is a microlithography projection objective lens 10 for imaging into an image plane a pattern arra...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	AURELIAN DOTOK, TORALF GRUNER, VLADIMIR KAMENOV, PERRIN JEAN-CLAUDE, ALEXANDER EPPLE, THOMAS OKON, OLAF CONRADI, FELDMANN HEIKO, DANIEL KRAEHMER, JULIAN KALLER
Format:	Patent
Sprache:	eng ; jpn
Schlagworte:	OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS OPTICS PHYSICS
Online-Zugang:	Volltext bestellen
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!

Schreiben Sie den ersten Kommentar!