LOAD SENSOR

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a load sensor capable of widening a detection range of a load.SOLUTION: A load sensor comprises a substrate 1 and sensor devices 2 each having a rib 21 formed on the substrate 1 and a transistor 22 formed on a surface of the rib 21. The rib 21 is deformed by a load a...

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Hauptverfasser: KANO KAZUHIKO, FUKAMI HIROKO
Format: Patent
Sprache:eng ; jpn
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