STRUCTURE STAMP, APPARATUS AND METHOD FOR EMBOSSING PROCESSING

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a micro-patterning and/or nano-patterning apparatus and method capable of granting automated and prompter process execution.SOLUTION: A structure stamp 5 comprises: a flexible stamp 1 including a micro-patterned or nano-patterned stamp face; and a frame 3 over which...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: GERALD KREINDL, JAKOB HARMING, CHRISTINE THANNER, SCHON CHRISTIAN, VISCHER PETER
Format: Patent
Sprache:eng ; jpn
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