PROBER

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a prober with which parallelism between a probe card and a wafer can be maintained and a wafer level inspection can be performed highly accurately.SOLUTION: A prober includes: a wafer chuck 50 holding a wafer W; a probe card 56 having a plurality of probes 66 on a face thereof, the face facing the wafer W on the wafer chuck 50; pressure reduction means forming a sealed space S by sealing between the wafer chuck 50 and the probe card 56 and pulling up the wafer chuck 50 with the probe card 56 as a reference by reducing pressure in the sealed space S; a pogo frame 58 arranged above the probe card 56 to be electrically connected to the probe card 56 and supported by a device; and a test head 54 mounted on the pogo frame 58 while an external edge is uniformly supported so that the weight of the test head is reduced.SELECTED DRAWING: Figure 5 【課題】プローブカードとウエハとの平行度を保つことができ、ウエハレベル検査を高精度に行うことができるプローバを提供する。【解決手段】ウエハＷを保持するウエハチャック５０と、ウエハチャック５０上のウエハＷに対向する面に複数のプローブ６６を有するプローブカード５６と、ウエハチャック５０とプローブカード５６との間をシールして密閉空間Ｓを形成し、密閉空間Ｓを減圧して、ウエハチャック５０をプローブカード５６を基準として上方へ引き寄せる減圧手段と、プローブカード５６の上側に配置しプローブカード５６と電気的に接続するとともに、装置に支持されるポゴフレーム５８と、外縁部を均等に支持されて自重を軽減されつつ、ポゴフレーム５８上に載せ置きされるテストヘッド５４と、を備える。【選択図】図５