SURFACE EMITTING LASER ARRAY CHIP, SURFACE EMITTING LASER ARRAY, LASER DEVICE, IGNITION DEVICE, INTERNAL COMBUSTION ENGINE, AND METHOD OF MANUFACTURING SURFACE EMITTING LASER ARRAY

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a surface emitting laser array capable of improving heat dissipation, while maintaining high density arrangement of a plurality of light emitting parts.SOLUTION: A surface emitting laser array chip has a plurality of light emitting parts, and an upper electrode 113 provided on the light emission part side in the plurality of light emitting parts. A layer composed of a planarization material 126 is formed on the upper electrode 113. The planarization material 126 is a nanocomposite material having thermal conductivity and insulation properties. Since the planarization material 126 has high thermal conductivity, in this case, heat generated in the light emitting parts can be dissipated promptly. Heat dissipation can thereby be enhanced, while maintaining high density arrangement of a plurality of light emitting parts.SELECTED DRAWING: Figure 25 【課題】複数の発光部の高密度配置を維持しつつ、放熱性を向上させることができる面発光レーザアレイを提供する。【解決手段】 面発光レーザアレイチップは、複数の発光部、該複数の発光部における光射出部側に設けられた上部電極１１３を有している。そして、上部電極１１３上に平坦化材料１２６からなる層が形成されている。この平坦化材料１２６は、熱伝導性及び絶縁性を有するナノコンポジット材料である。この場合は、平坦化材料１２６が大きな熱伝導性を有しているため、発光部で生じた熱を速やかに放熱することができる。すなわち、複数の発光部の高密度配置を維持しつつ、放熱性を向上させることができる【選択図】図２５