METHOD OF REPAIRING ALUMINUM NITRIDE DIELECTRIC OF ELECTROSTATIC CHUCK

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a repaired electrostatic chuck and a method of repairing a used electrostatic chuck.SOLUTION: Initially, a predetermined amount of dielectric material is removed from a used electrostatic chuck to leave a base surface. Then, the base surface is roughened to enhance adherence of new dielectric material thereto. The new dielectric material is then sprayed onto the roughened surface. A mask is then placed over the new dielectric material to aid in formation of mesas upon which a substrate will be placed during processing. A portion of the new dielectric layer is then removed to form new mesas. After removing the mask, edges of the mesas can be smoothed and the repaired electrostatic chuck is ready to return to service after cleaning.SELECTED DRAWING: Figure 7 【課題】本発明は、一般に、修復された静電チャック、及び使用済の静電チャックを修復する方法に関する。【解決手段】最初に、所定の量の誘電材料が使用済静電チャックから除去され、ベース表面が残される。次いで、新しい誘電材料の密着性を高めるためにベース表面が粗面化される。次に、新しい誘電材料が粗面上に溶射される。次いで、処理中に基板が載置されるメサの形成を助けるために、新しい誘電材料を覆ってマスクが配置される。次に、新しい誘電体層の一部分が除去されて新しいメサが形成される。マスクを除去した後、メサのエッジを円滑にすることができ、洗浄後、修復された静電チャックは再使用の準備が整う。【選択図】図７