SUBSTRATE PROCESSING DEVICE, SUBSTRATE PROCESSING METHOD, AND STORAGE MEDIUM

PROBLEM TO BE SOLVED: To prevent a processing liquid scattering from a substrate to the outside of a fixed cup body from adhering to a chamber inner wall.SOLUTION: A substrate processing device includes: a fixed cup body (51) which is immovable relative to a processing container which encloses a substrate holding part (31) and receives a processing liquid supplied to a substrate or mist of the processing liquid; a mist guard (80); and a lifting mechanism (84) which moves up or down the mist guard. The mist guard is provided at an outer side of the fixed cup body so as to enclose the fixed cup body and blocks a liquid which goes beyond an upper side of the fixed cup body and scatters outward. The mist guard has: a cylindrical part (81); and an extension part (82) which extends from an upper end of the cylindrical part toward the fixed cup body side.SELECTED DRAWING: Figure 2 【課題】基板から固定カップ体外に飛散した処理液がチャンバ内壁に付着することを防止する。【解決手段】基板処理装置は、基板保持部（３１）を囲んで基板に供給された処理液または処理液のミストを受ける処理容器に対して相対的に不動な固定カップ体（５１）と、ミストガード（８０）と、ミストガードを昇降させる昇降機構（８４）とを備える。ミストガードは、固定カップ体を囲むように固定カップ体の外側に設けられ、固定カップ体の上方を越えて外方に飛散する液を遮断する。ミストガードが、筒状の筒部（８１）と、筒部の上端から固定カップ体の側に向かって張り出す張出部（８２）を有する。【選択図】図２