CURRENT MEASUREMENT DEVICE

PROBLEM TO BE SOLVED: To improve current measurement accuracy of a current measurement device.SOLUTION: A current measurement part 2a has insulation layers 201, 202 and 203 arranged between a first electrode 211 and a second electrode 212. The insulation layers 201, 202 and 203 are provided with resistor formation via-holes 201a, 202a and 203a, respectively. Resistance members 221a, 222a and 223a are inserted in the via-holes 201a, 202a and 203a, respectively. The resistance members 221a, 222a and 223a form a resistor 220 connected to the first and second electrodes 211 and 212. In the current measurement part 2a as described above, an opening shape of each of the via-holes 201a, 202a and 203a is formed such that a first open width in a first direction is longer than a second open width in a second direction perpendicular to the first direction.SELECTED DRAWING: Figure 3 【課題】電流測定装置の電流測定精度を向上させる。【解決手段】電流測定部２ａは、第１電極２１１と第２電極２１２の間に配置された絶縁層２０１、２０２、２０３を有する。各絶縁層２０１、２０２、２０３には、抵抗体形成用のビアホール２０１ａ、２０２ａ、２０３ａが形成されている。これらのビアホール２０１ａ、２０２ａ、２０３ａのそれぞれに抵抗部材２２１ａ、２２２ａ、２２３ａが埋め込まれている。抵抗部材２２１ａ、２２２ａ、２２３ａによって、第１、第２電極２１１、２１２に接続された抵抗体２２０が構成される。このような電流測定部２ａにおいて、ビアホール２０１ａ、２０２ａ、２０３ａのそれぞれの開口形状を、第１方向での第１開口幅の方が第１方向に直交する第２方向での第２開口幅よりも長い長尺形状とする。【選択図】図３