PROBE ALIGNING METHOD

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method of aligning a probe with respect to a support substrate.SOLUTION: A method of aligning a probe 122 with respect to a probe support substrate 114 includes the steps of: providing the probe support substrate 114 having a flat surface, an edge, and a first crystalline surface; providing a first mask on the surface of the probe support substrate 114 on the surface of the edge; and providing a recess having side walls 124 and 120, an end wall 116 apart from the edge, and a bottom wall 119, the recess having a first exposed region formed by etching with a corrosive agent. The method further includes: providing a probe substrate 114 having a flat surface and a second crystalline surface identical with the first crystalline surface; and disposing the probe substrate 114 such that the first and second crystalline surfaces are disposed in the same manner and the probe 122 has surfaces corresponding to the side wall 124 and a side wall 128 when the probe 122 is formed from the probe substrate 114 using a specified corrosive agent.SELECTED DRAWING: Figure 8 【課題】支持基板にプローブの位置合せを行なう方法を提供する。【解決手段】プローブ支持基板１１４にプローブ１２２を位置合せする方法は、平坦面と縁部と第１の結晶面を形成するプローブ支持基板１１４を配設するステップと、縁部の表面に第１のマスクをプローブ支持基板１１４表面に配設するステップと、第１の露出領域を腐食剤によりエッチング形成される陥凹において側壁１２４及び１２０と縁部から遠隔した端部壁１１６と底壁１１９とを形成する陥凹とを配設するステップとを含む。この方法は、平坦面と、第１の結晶面と同一の第２の結晶面とを形成するプローブ基板１１４を配設することと、特定の腐食剤を使用してプローブ基板１１４からプローブ１２２を形成する際に、第１、第２の結晶面が全く同じに配置され、プローブ１２２が側壁１２４、１２８と一致する表面を形成するようにプローブ基板１１４を配置することとをさらに含む。【選択図】図８