ELECTROLYTE DELIVERY AND GENERATION APPARATUS

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an apparatus for automatically generating a metal-containing electrolyte (e.g., an electrolyte containing Snions and an acid).SOLUTION: The apparatus includes: an anolyte chamber configured to house an active anode (e.g., a metallic tin anode), an anolyte, and a sensor (e.g., one or more sensors) measuring a concentration of metal ions in the anolyte; a catholyte chamber configured to house a hydrogen-generating cathode and a catholyte; and a controller having program instructions for processing data from the sensor and for automatically generating an electrolyte having metal ions in a target concentration range in the anolyte chamber. The apparatus is in communication with an electroplating apparatus and is capable to deliver the generated electrolyte to the electroplating apparatus on demand. A densitometer and a conductivity meter are together used as sensors, and the apparatus is configured to generate a low-alpha tin electrolyte containing an acid.SELECTED DRAWING: Figure 6C 【課題】金属含有電解液（例えば、Ｓｎ２＋イオンおよび酸を含む電解液）を自動的に生成するための装置の提供【解決手段】活性アノード（例えば金属スズアノード）、陽極液、および、陽極液中の金属イオン濃度を測定するセンサ（例えば１または複数のセンサ）を収容するよう構成された陽極液チャンバと；水素生成カソードおよび陰極液を収容するよう構成された陰極液チャンバと；センサからのデータを処理するためのプログラム命令および陽極液チャンバ内で目標濃度範囲内の金属イオンを有する電解液を自動的に生成するためのプログラム命令を有するコントローラとを備える。装置は、電気メッキ装置と連絡しており、生成された電解液を要求に応じて電気メッキ装置に供給することができる。密度計および導電率計がセンサとして併用され、装置は、酸を含む低アルファ線スズ電解液を生成するよう構成される。【選択図】図６Ｃ