BLOCK VALVE, FLUID CONTROL DEVICE WITH BLOCK VALVE AND METHOD FOR CLEANING CHAMBER WITH BLOCK VALVE

PROBLEM TO BE SOLVED: To enable fluid to be flowed in a flow passage corresponding to a desired flow rate in a plurality of flow passages arranged at a valve on one line in response to opening or closing operation of a plurality of valves arranged on one line and enable a flow rate of fluid to be adjusted.SOLUTION: A block valve 1a to which a plurality of valves are connected and the flow rate is adjusted in response to a flow passage where fluid flows has a flow passage 10 acting as one inlet where fluid flows in, a flow passage 23 acting as one outlet where the fluid flows out and a plurality of flow passages 12, 13, 21, 22 formed between the flow passage 10 and the flow passage 23 where fluid flows. The plurality of flow passages are provided with a flow passage where an orifice OR1 exists, one flow passage where fluid flows is selected from a plurality of flow passages through opening or closing of a plurality of valves V1, V2 and the fluid is discharged in response to the selected flow passage or a flow rate corresponding to the orifice arranged at the selected flow passage.SELECTED DRAWING: Figure 2 【課題】１ライン上に設けられた複数のバルブの開閉動作に応じて、１ライン上のバルブに設けられた複数の流路のうち、所望の流量に対応した流路に流体を流通させることができ、これにより流体の流量を調整可能とする。【解決手段】複数のバルブが連結され、流体が流通する流路に応じて流量が調整されるブロックバルブ１ａは、流体が流入する１つの入口となる流路１０と、流体が流出する１つの出口となる流路２３と、流路１０と流路２３の間に形成され、流体が流通する複数の流路１２,１３,２１,２２と、を有し、前記複数の流路には、オリフィスＯＲ１が介在する流路が設けられており、複数のバルブＶ１、Ｖ２の開閉により、複数の流路から、流体が流通する１つの流路が選択され、当該選択された流路、又は当該選択された流路に設けられたオリフィスに応じた流量により、前記流体が排出される。【選択図】図２