BREAK DEVICE

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a break device capable of inspecting a blade tip of a break blade without removing the break blade.SOLUTION: A device for breaking a substrate along a scribe line comprises: a table on which a substrate is placed in a horizontal posture; a break blade provided above the table so as to advance and retreat with respect to the table; imaging means disposed to image a blade tip of the break blade; and blade tip inspection means for inspecting presence or absence of a chip in the blade tip of the break blade based on one or a plurality of images of the blade tip obtained through imaging by the imaging means. The blade tip inspection means determines the presence or absence of the chip of the blade tip on the basis of whether or not a determination index generated based on one or the plurality of images exceeds a prescribed criterion.SELECTED DRAWING: Figure 2 【課題】ブレーク刃を取り外すことなくその刃先を検査することができるブレーク装置を実現する。【解決手段】基板をスクライブラインに沿ってブレークする装置が、基板が水平姿勢にて載置されるテーブルと、テーブルの上方に、テーブルに対して進退自在に設けられてなるブレーク刃と、ブレーク刃の刃先を撮像可能に配置された撮像手段と、撮像手段による撮像によって得られた刃先についての１または複数の撮像画像に基づいてブレーク刃の刃先における欠けの有無を検査する刃先検査手段と、を備え、刃先検査手段が、１または複数の撮像画像に基づいて生成される判定指標が所定の判定基準を超えているか否かに基づいて、刃先の欠けの有無を判定する、ようにした。【選択図】図２