SUSCEPTOR ARRANGEMENT FOR REACTOR AND METHOD OF HEATING PROCESS GAS FOR REACTOR

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a susceptor arrangement having increased heat transfer efficiency for a reactor.SOLUTION: A susceptor arrangement for a reactor includes a heater element configured to heat a process gas to be used in the reactor. The susceptor arrangement also includes an inner susceptor portion located radially inwardly of the heater element and configured to route the process gas therein along a radially inner process gas path. The susceptor arrangement further includes an outer susceptor portion located radially outwardly of the heater element and configured to route the process gas therein along a radially outer process gas path. The radially inner process gas path and the radially outer process gas path are fluidly coupled and substantially fluidly isolated from the heater element.SELECTED DRAWING: None 【課題】熱伝達効率のよいリアクタのためのサセプタ配置を提供する。【解決手段】リアクタのためのサセプタ配置は、リアクタ中で使用されるプロセスガスを加熱するように構成されたヒータエレメントを含む。また、ヒータエレメントの径方向内向きに配置され、径方向内側プロセスガス経路に沿ってその中にプロセスガスをルーティングするように構成された内側サセプタ部分が含まれる。更に、ヒータエレメントの径方向外向きに配置され、径方向外側プロセスガス経路に沿ってその中にプロセスガスをルーティングするように構成された外側サセプタ部分が含まれ、径方向内側プロセスガス経路と径方向外側プロセスガス経路とは、流体結合され、ヒータエレメントから実質的に流体分離される。【選択図】なし