TRANSPORTATION SYSTEM

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a transportation system having advantage in shortening of total teaching time in a case of comprising a plurality of mask loaders.SOLUTION: A transportation system 100 is comprised in at least an exposure apparatus EX which exposes pattern formed on an original plate M onto a substrate P and transports the original plate M to a plurality of delivery positions where the original plate M is delivered with a plurality of loaders ML moving along with common transportation path R. Herein, the loaders ML comprise detecting means 6 for acquiring data relating the delivery positions by detection; communication means 3 for communicating the data; acquiring means for acquiring data relating to the delivery positions which are not acquired with the detecting means 6 from the other loaders ML acquired with the detecting means 6 via the communication means 3; and driving means 8 for movement on the transportation path R according to the data.SELECTED DRAWING: Figure 2 【課題】複数のマスクローダを有する場合の総ティーチング時間の短縮に有利な搬送システムを提供する。【解決手段】搬送システム１００は、原版Ｍに形成されているパターンを基板Ｐ上に露光する露光装置ＥＸに少なくとも含まれ、原版Ｍの受け渡しを行う複数の受け渡し位置に、共通の搬送路Ｒに沿って移動する複数のローダＭＬを用いて原版Ｍを搬送する。ここで、ローダＭＬは、受け渡し位置に関するデータを検出により取得する検出手段６と、データを送受信する通信手段３と、検出手段６を用いて取得しなかった受け渡し位置に関するデータを、該受け渡し位置に関するデータを検出手段６を用いて取得した他のローダＭＬから通信手段３を介して取得する取得手段と、データに従って搬送路Ｒ上を移動させる駆動手段８とを有する。【選択図】図２