PRESSURE SENSOR

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a pressure sensor capable of simplifying assembly operation and improving product accuracy.SOLUTION: A pressure sensor comprises: a diaphragm which receives pressure of a fluid; a base formed with a pressure-receiving space in which an insulative medium such as an oil is encapsulated between itself and the diaphragm; a pressure detecting element provided in the pressure-receiving space and comprising a plurality of bonding pads including a ground pad; and a plurality of terminal pins and one ground terminal pin both of which penetrate the base and are electrically connected to the pressure detecting element. A charge removing plate is arranged between the base and the pressure detecting element. In the charge removing plate, a conductive layer is formed on a surface of the pressure detecting element side. The conductive layer is electrically connected to the ground pad and the ground terminal pin.SELECTED DRAWING: Figure 1 【課題】組立作業を簡素化し、製品精度を向上できる圧力センサを提供する。【解決手段】流体の圧力を受圧するダイアフラムと、前記ダイアフラムとの間でオイル等の絶縁性媒質が封入された受圧空間が形成されるベースと、前記受圧空間内に設けられるとともにアースパッドを含む複数のボンディングパッドを備えた圧力検出素子と、前記ベースを貫通するとともに前記圧力検出素子と電気的に接続される複数の端子ピン及び１つのアース端子ピンと、を具備した圧力センサであって、前記ベースと前記圧力検出素子との間に除電板が配置されており、前記除電板は、前記圧力検出素子側の表面に導電層が形成されているとともに、前記導電層が前記アースパッド及び前記アース端子ピンとそれぞれ電気的に接続されている。【選択図】図１