PROCESS OF MANUFACTURE OF VACUUM PUMP MEMBER, VACUUM PUMP MEMBER, AND VACUUM PUMP

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an improved method for manufacturing a vacuum pump member enabling a complex geometric shape of member to be realized at fast speed, under a superior cost efficiency and low material cost, and additionally enabling the member to be manufactured fast and under a super...

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Hauptverfasser: JUNG JUERGEN DR, JENS KELLER, HOFMANN JAN
Format: Patent
Sprache:eng ; jpn
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Beschreibung
Zusammenfassung:PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an improved method for manufacturing a vacuum pump member enabling a complex geometric shape of member to be realized at fast speed, under a superior cost efficiency and low material cost, and additionally enabling the member to be manufactured fast and under a superior cost efficiency and preferably providing the vacuum pump member having high mechanical load applicability.SOLUTION: The prescribed problem is resolved by a process of manufacture of members (66, 68) of a vacuum pump, in particular a turbo molecular pump or a Roots pump and the members (66, 68) are made by the generative process of manufacture.SELECTED DRAWING: Figure 1 【課題】本発明の課題は、真空ポンプの部材の製造の為の改善された方法を提供することである。当該方法によって、複雑な部材幾何形状も高速で、コスト効率が良く、そして低い材料コストで実現されることが可能である。その上、本発明の課題は、高速かつコスト効率よく製造されることが可能であり、そして好ましくは高い機械的負荷可能性を有する真空ポンプの部材を提供することである。【解決手段】課題は、真空ポンプ、特にターボ分子ポンプ又はルーツポンプの部材(66,68)の製造の為の方法において、部材(66,68)が、生成的な製造方法によって作られることにより解決される。【選択図】図1