DEVICE AND METHOD FOR ANALYZING ABRASIVE LAYER

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an abrasive layer analyzer designed to detect a part with macro unevenness of a polymer sheet and determine whether the polymer sheet complies with requirements.SOLUTION: The abrasive layer analyzer includes: a sequencer; a light source discharging a beam of light; a photosensor; a digital image data acquisition device combined with the photosensor; and an image data processing unit combined with the digital image data acquisition device, the image data processing unit processing the digital signal from the digital image data acquisition device to detect a part with macro unevenness and determining whether a polymer sheet 20 complies with requirements of usage as an abrasive layer in a chemical mechanical polishing pad.SELECTED DRAWING: Figure 1 【課題】ポリマーシート中のマクロ不均一部を検出し、ポリマーシートを合格である、又は疑わしいとして分類するように構成されている研磨層分析装置を提供する。【解決手段】シーケンサ、光線を放出する光源、光検出器、前記光検出器に結合されたデジタル画像データ取得装置、及び前記デジタル画像データ取得装置に結合された画像データ処理ユニットをさらに含み、画像データ処理ユニットが、前記デジタル画像データ取得装置からの前記デジタル信号を処理して、マクロ不均一部を検出し、ポリマーシート２０を、ケミカルメカニカルポリッシングパッド中の研磨層としての使用に合格である、又は疑わしいとして分類する【選択図】図１