METHOD FOR OPERATING VACUUM PUMP OR SCROLL PUMP HAVING AT LEAST TWO PUMP STAGES, AND VACUUM PUMP

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method capable of prolonging a service life of an abradable seal in a vacuum pump, and detecting abrasion of the seal in the vacuum pump early.SOLUTION: A vacuum pump 101 has at least one pump stage, a motor and a motor control part. In the vacuum pump that is a dr...

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	KALLENBORN STEFAN, HEIKO SCHAEFER
Format:	Patent
Sprache:	eng ; jpn
Schlagworte:	BLASTING HEATING LIGHTING MECHANICAL ENGINEERING POSITIVE DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS PUMPS PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENTMACHINES FOR LIQUIDS ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENTPUMPS WEAPONS
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Beschreibung
Zusammenfassung:	PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method capable of prolonging a service life of an abradable seal in a vacuum pump, and detecting abrasion of the seal in the vacuum pump early.SOLUTION: A vacuum pump 101 has at least one pump stage, a motor and a motor control part. In the vacuum pump that is a dry operation type vacuum pump having an abradable seal 148, at least one pressure sensor 51 is provided ahead of a first pump stage and/or in at least one compression chamber in the vacuum pump. The pressure sensor 51 is connected to an evaluation unit 53.SELECTED DRAWING: Figure 3 【課題】真空ポンプ内における磨耗性のシールの寿命が高められるよう更に改善する。更に、真空ポンプ内のシールの摩耗が、早期に検出されることが可能である方法を提供する。【解決手段】少なくとも一つのポンプ段、モーター及びモーター制御部を有する真空ポンプ１０１であって、その際、真空ポンプが、摩耗性のシール１４８を有する乾燥運転式の真空ポンプとして形成されている真空ポンプにおいて、少なくとも一つの圧力センサー５１が、第一のポンプ段の前に、及び／又は、真空ポンプの少なくとも一つの圧縮室内に設けられており、圧力センサー５１が評価ユニット５３と接続されている。【選択図】図３