FOIL TRAP AND EXTREME-ULTRAVIOLET LIGHT SOURCE DEVICE FOR MASK INSPECTION

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a foil trap capable of capturing debris appropriately, without up-sizing more than necessary, and to provide an extreme-ultraviolet light source device including the same.SOLUTION: A debris trap 13 is arranged in the vicinity of a plasma, passes a light beam bundle that is a part of light radiated from the plasma taken out at a predetermined solid angle, and captures debris traveling in the direction of travel of the light beam bundle, out of the debris generated from the plasma. The debris trap 13 has a fixed foil trap 40, having a plurality of foils 41, and a fixing member (fixing frame) 42 for fixing the plurality of foils 41. The plurality of foils 41 have a size corresponding to the passage region of the light beam bundle, and is arranged on the main light beam of the light beam bundle.SELECTED DRAWING: Figure 2 【課題】必要以上に大型化することなく、適切にデブリを捕捉することができるホイルトラップ、及びそれを備えたマスク検査用極端紫外光光源装置を提供する。【解決手段】デブリトラップ１３は、プラズマの近傍に配置され、プラズマから放射される光の一部を所定の立体角で取り出した光線束を通過し、当該プラズマから発生するデブリのうち当該光線束の進行方向に進行するデブリを捕捉する。デブリトラップ１３は、固定式ホイルトラップ４０を有し、固定式ホイルトラップ４０は、複数のホイル４１と、複数のホイル４１を固定する固定部材（固定枠）４２と、を有する。複数のホイル４１は、上記光線束の通過領域に相当する大きさを有し、当該光線束の主光線上に配置されている。【選択図】 図２