LASER RESONATOR, LASER PROCESSING APPARATUS AND DEHUMIDIFICATION METHOD OF LASER RESONATOR

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a laser resonator capable of preventing dew condensation in a housing for housing a laser diode appropriately.SOLUTION: A laser oscillator includes a laser module housing a laser diode for oscillating a laser, a housing for housing the laser module, a cooling path connected with the laser module, an air purge unit for producing dry air of low dew point from compressed-air for purge supplied externally, and supplying the dry air to the laser module, and an air conditioner for controlling the temperature of dry air by controlling the temperature in the housing, in parallel with dry air supply by the air purge unit.SELECTED DRAWING: Figure 1 【課題】レーザダイオードを収容する筐体内の結露を適切に防止することができるレーザ共振器を提供する。【解決手段】レーザを発振するレーザダイオードを収容するレーザモジュールと、レーザモジュールを収容する筐体と、レーザモジュールに接続された冷却経路と、外部から供給されたパージ用の圧縮空気から低露点のドライエアを生成してレーザモジュールに供給するエアパージユニットと、エアパージユニットによるドライエアの供給と並行して、筐体内部の温度を制御することにより、ドライエアの温度を制御するエアコンとを備える。【選択図】図１