SUBSTRATE HOLDER AND PLATING APPARATUS

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a substrate holder for holding a substrate such as a wafer.SOLUTION: A substrate holder 7 includes a seal ring 31 contacting with the peripheral edge part of a substrate W, a support ring 33 for supporting the seal ring 31, and a fixing ring 40 for pressing the seal ring 31 to the support ring 33, and in which the fixing ring 40 has an annular part 42 having an inner peripheral surface 42a and an outer peripheral surface 42b composed of a tapered surface, a seal ring pressing part 43 connected to the annular part 42, and a regulation ring 45 projecting inwardly in the radial direction from the seal ring pressing part 43. The regulation ring 45 has an inner diameter smaller than the inner diameter of the seal ring 31.SELECTED DRAWING: Figure 5 【課題】ウェハなどの基板を保持する基板ホルダを提供する。【解決手段】基板ホルダ７は、基板Ｗの周縁部に接触するシールリング３１と、シールリング３１を支持する支持リング３３と、シールリング３１を支持リング３３に押し付ける固定リング４０とを備える。固定リング４０は、テーパー面からなる内周面４２ａおよび外周面４２ｂを有する環状部４２と、環状部４２に接続されたシールリング押え部４３と、シールリング押え部４３から半径方向内方に突出するレギュレーションリング４５とを有し、レギュレーションリング４５は、シールリング３１の内径よりも小さい内径を有する。【選択図】図５