CUTTING TOOL DEVICE

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a cutting tool device which includes a chuck table which can selectively suck and hold a large-sized rectangular substrate and a small-sized rectangular substrate.SOLUTION: The cutting tool device cuts a front surface or a rear surface of the rectangular substrate wi...

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1. Verfasser: KAWASE MASAYUKI
Format: Patent
Sprache:eng ; jpn
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Beschreibung
Zusammenfassung:PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a cutting tool device which includes a chuck table which can selectively suck and hold a large-sized rectangular substrate and a small-sized rectangular substrate.SOLUTION: The cutting tool device cuts a front surface or a rear surface of the rectangular substrate with a cutting tool, and includes the chuck table which sucks and holds the rectangular substrate by a rectangular holding surface. The chuck table includes: a base having a first suction port and a second suction port; a first chuck table arranged in a position corresponding to the first suction port of the base; a second chuck table arranged in a position which corresponds to the second suction port of the base and is adjacent to the first chuck table. A first rectangular substrate which has a size corresponding to one area structured by the holding surface of the first chuck table and the holding surface of the second chuck table, and a second rectangular substrate which has a size corresponding to the holding surface of the first or second chuck table can be sucked and held selectively.SELECTED DRAWING: Figure 1 【課題】 サイズの大きい矩形基板又はサイズの小さい矩形基板を選択的に吸引保持可能なチャックテーブルを備えたバイト切削装置を提供することである。【解決手段】 矩形基板の表面又は裏面をバイト工具で切削するバイト切削装置であって、矩形基板を矩形の保持面で吸引保持するチャックテーブルを備え、該チャックテーブルルは、第1の吸引口と第2の吸引口とを有するベースと、該ベースの該第1の吸引口に対応した位置に配設された第1のチャックテーブルと、該ベースの該第2の吸引口に対応し該第1のチャックテーブルと隣接した位置に配設された第2のチャックテーブルと、を含み、該第1のチャックテーブルの保持面と該第2のチャックテーブルの保持面とで構成する1つの領域に対応した大きさの第1の矩形基板、又は該第1又は該第2のチャックテーブルの保持面に対応した大きさの第2の矩形基板とを、選択的に吸引保持可能なことを特徴とする。【選択図】図1