TEST ASSEMBLY CONTAINING STAGE OF PLURAL DEGREES OF FREEDOM

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a test assembly containing a sample stage of plural degrees of freedom and a mechanical test device that can be used in plural chambers for observation processing devices.SOLUTION: A mechanical test device 114 and a sample stage assembly 116 of plural degrees of freedom are movably coupled to a test assembly platform 200 by linear stage assemblies 210, 204, respectively. The sample stage 116 of plural degrees of freedom contains a rotation and inclination assembly 206 coupled to a linear stage assembly. The mechanical test device 114 is configured to be movable relative to the sample stage face 208.SELECTED DRAWING: Figure 2 【課題】複数の観察加工装置のチャンバー内で使用可能な、複数自由度のサンプルステージと機械的テスト装置を含むテストアセンブリを提供する。【解決手段】機械的テスト装置１１４および複数自由度サンプルステージアセンブリ１１６が、それぞれ線形ステージアセンブリ２１０、２０４により移動可能にテストアセンブリプラットフォーム２００に結合される。複数自由度サンプルステージ１１６は、線形ステージアセンブリに結合される回転及び傾きアセンブリ２０６を含む。機械的テスト装置１１４はサンプルステージ面２０８に対して移動可能に構成される。【選択図】図２