FILM THICKNESS MEASURING APPARATUS, AND METHOD

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a film thickness measuring apparatus and a method that can significantly reduce the fluctuation range in the time axis direction and enhance the accuracy of measurement.SOLUTION: A film thickness measuring apparatus is equipped with a linear stage 18 that shifts a timing of arrival of probe light 4 at a detecting element 16 in an optical axis direction; a delay time detecting device 20 that detects a delay time of the probe light 4 due to the linear stage 18; an origin detecting device 30 that detects an origin of the linear stage 18; and a stage control device 40 that controls the delay time detecting device 20. The linear stage 18 is accelerated with the stage control device 40; and the delay time detecting device 20 detects, using as a trigger the point of time when the linear stage 18 took on a constant speed and passed the origin, the delay time of the probe light 4.SELECTED DRAWING: Figure 3 【課題】時間軸方向の変動幅を大幅に低減することができ、計測精度を向上させることができる膜厚計測装置と方法を提供する。【解決手段】プローブ光４が検出素子１６に到着するタイミングを光軸方向にずらすリニアステージ１８と、リニアステージ１８によるプローブ光４の遅延時間を検出する遅延時間検出装置２０と、リニアステージ１８の原点を検出する原点検出装置３０と、遅延時間検出装置２０を制御するステージ制御装置４０と、を備える。ステージ制御装置４０によりリニアステージ１８を加速し、リニアステージ１８が一定速度になりかつ原点を通過した時点をトリガとして、遅延時間検出装置２０によりプローブ光４の遅延時間を検出する。【選択図】図３