WAFER RECEPTACLE

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a wafer receptacle allowing a plurality of receptacles to be stored and carried while being stably stacked.SOLUTION: A wafer receptacle includes a lateral wall portion 120 on the top surface of a base, and wafers are stacked inside the lateral wall portion. The later...

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1. Verfasser: LIM YI TEAK
Format: Patent
Sprache:eng ; jpn
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