MEASURING APPARATUS AND MEASURING METHOD

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a measuring method and a measuring apparatus which evaluate factors of changes of electrical characteristics of a substance.SOLUTION: A measuring apparatus 100 includes: a chamber 101; a stage 102; a stage heating mechanism 103; a pressure regulating mechanism 104; a temperature measurement mechanism 105; a gas analysis mechanism 106; and a probe support mechanism 107. The stage 102 is disposed in the chamber 101 and has a function for holding a measured object (a sample) 110. The stage heating mechanism 103 has a function for heating the stage 102. The pressure regulating mechanism 104 has a function for decompressing the chamber 101. The temperature measurement mechanism 105 has a function for detecting a temperature of the measured object 110. The gas analysis mechanism 106 has a function for detecting elements contained in the chamber 101. The probe support mechanism 107 has a function for supporting a probe 111 and a function for placing the probe 111 in contact with the measured object 110. 【課題】物質の電気的特性の変化の要因を評価する測定方法及び測定装置を提供する。【解決手段】チャンバー１０１と、ステージ１０２と、ステージ加熱機構１０３と、圧力調整機構１０４と、温度測定機構１０５と、ガス分析機構１０６と、プローブ支持機構１０７と、を有する測定装置１００とする。ステージ１０２は、チャンバー１０１内に配置され、被測定物（試料）１１０を保持する機能を有する。ステージ加熱機構１０２は、ステージ１０２を加熱する機能を有する。圧力調整機構１０４は、チャンバー１０１内を減圧する機能を有する。温度測定機構１０５は、被測定物１１０の温度を検出する機能を有する。ガス分析機構１０６は、チャンバー１０１内に含まれる元素を検出する機能を有する。プローブ支持機構１０７は、プローブ１１１を支持する機能と、被測定物１１０にプローブ１１１を接触させる機能とを有する。【選択図】図１