TERAHERTZ WAVE PHASE DIFFERENCE MEASUREMENT SYSTEM

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a high-sensitivity terahertz wave phase difference measurement system with high SN ratio.SOLUTION: A terahertz wave generation/detection device obtains a high SN ratio by using a terahertz wave generator irradiating a nonlinear optical crystal with pump light and seed light while satisfying angle phase matching and a terahertz wave detector irradiating the nonlinear optical crystal with the pump light and a terahertz wave while satisfying the angle phase matching. A half mirror and a movable reference mirror are used in the terahertz wave generation/detection device to observe a terahertz interference wave, calculating a phase difference. Regardless of the position of the movable reference mirror and the position of a measuring object, a first optical delay unit and a second optical delay unit interlocking with the movement of the movable reference mirror of a Michelson interferometer are introduced on the optical path of the pump light, in order to match optical path lengths of the pump light and the terahertz wave with one another. 【課題】 高ＳＮ比で高感度なテラヘルツ波位相差測定システムを提供すること。【解決手段】 非線形光学結晶にポンプ光とシード光を角度位相整合を満たして照射するテラヘルツ波発生器と、非線形光学結晶にポンプ光とテラヘルツ波を角度位相整合を満たして照射するテラヘルツ波検出器を用いることで高いSN比を得られるテラヘルツ波発生・検出装置に、ハーフミラーと可動式参照ミラーを用いてテラヘルツ干渉波を観測し位相差を算出する。可動式参照ミラーの位置や測定対象物の位置に関わらず、ポンプ光とテラヘルツ波の光路長を一致させるために、第一の光遅延器とマイケルソン干渉計の可動式参照ミラーの移動と連動する第二の光遅延器とをポンプ光の光路上に導入する。【選択図】 図１